1000-luku
Munkit olivat käyttäneet tekstejä lukiessaan lukukiveä, joka on eräänlainen suurennuslasi.
n. 1284
Kunnia ensimmäisten päässä pidettävien silmälasien kehityksestä on annettu Italialaiselle Salvino D’Armatelle. Tosin joidenkin mielestä kunnia kuuluu firenzeläiselle Alessandro Spinalle.
1590
Ensimmäisen valomikroskoopin tekijänä mainitaan usein Galileo Galilei tai Anton Leeuwenhoek, mutta todennäköisimmin kaksi hollantilaista, Zaccharias Janssen ja hänen poikansa Hans Janssen, kehittivät ensimmäisen mikroskoopin.
1665
Mikroskooppin käyttö kasvoi kun englantilainen Robert Hooke julkaisi kuulun ”Micrographia”-teoksensa. Hän havaitsi, että mikroskoopilla tarkasteltuna korkkipuun rakenteessa paljastuu tyhjiä tiloja, ”soluja”.
1674
Hollantilainen Anton van Leeuwenhoek rakensi alkeellisen mikroskoopin kiinnittämällä erilaisia linssejä kiinteään runkoon. Hän kehitti merkittävästi mikroskoopin käyttöä ja edisti solututkimusta, mm. näki ja kuvasi ensimmäisenä bakteerin.
1800-luku
Teknologian kehittyessä mikroskoopista tuli suositumpi tiedemiesten keskuudessa. Osa tätä kehitystä oli huomio että kahden tyypisen lasin yhdistäminen vähensi kromaattista efektiä.
1830
Joseph Jackson Lister onnistui vähentämään pallo- ja kromaattisen aberraation vaikutusta havaitsemalla, että useat heikot linssit yhdessä käytettynä tietyillä etäisyyksillä tuovat tarkan suurennoksen ilman kuvan sumentumista.
1872
Saksalainen Ernst Abbe kehitti valomikroskopointia teoreettiseen maksimiin matemaattisella kaavallaan ”Abbe Sine Condition”.
1903
Richard Zsigmondy kehitti ultramikroskoopin, jolla pystyi tutkimaan kohteita alle valon aallonpituuden. Hän voitti kemian Nobel-palkinnon vuonna 1925.
1932
Hollantilainen Frederik (Frits) Zernike keksi vaihekontrastimikroskoopin. Keksintö ei tosin saanut ansaitsemaansa huomiota kuin vasta 1941 Saksassa toisen maailmansodan aikana, kun Wermacht (natsi-Saksan armeija) alkoi valmistaa sitä teollisesti. Frits Zernike palkittiin vuonna 1953 Nobelin fysiikanpalkinnolla vaihekontrastimikroskoopin keksimisestä. Vaihekontrastimikroskooppi mahdollistaa solujen sisärakenteen tutkimisen ilman väriaineita.
1931
Saksalainen fyysikko Ernst Ruska keksi ja rakensi elektronimikroskoopin toisen saksalaisen fyysikon Max Knollin kanssa. Ernst Ruskalle myönnettiin puolet Nobelin fysiikanpalkinnosta 1986 lukuisista saavutuksistaan elektroni-optiikassa.
1981
Saksalainen Gerd Binnig ja Itävaltalainen Heinrich Rohrer kehittivät tunnelointimikroskoopin, joka on kvanttitunnelointi-ilmiöön perustuva mikroskooppi, jolla saadaan kolmiulotteisia atomitason kuvia aineen pintarakenteesta. Gerd Binnig ja Heinrich Rohrer saivat molemmat neljänneksen Nobelin fysiikanpalkinnosta 1986 tunnelointimikroskoopin kehityksestä.